تعتبر صناعة أشباه الموصلات حجر الزاوية في تكنولوجيا المعلومات الحديثة؛ ويعد تطورها التكنولوجي وحجم تطورها بمثابة مؤشرات رئيسية لقدرات الأمة على الابتكار العلمي والقوة الوطنية الشاملة.
نظرًا لأن أداء- والجيل الثاني-مواد أشباه الموصلات-مثل السيليكون والجرمانيوم-يقترب من الحدود النظرية، فإنها تكافح لتلبية المتطلبات في بيئات التشغيل القاسية التي تتميز بدرجات حرارة عالية، وترددات عالية، ومستويات طاقة عالية، والتعرض للإشعاع. وبالتالي، فإن مواد أشباه الموصلات الجديدة-وأبرزها كربيد السيليكون والماس-حظيت باهتمام واسع النطاق نظرًا لخصائصها الكهربائية الاستثنائية.
تعمل ركائز أشباه الموصلات كأساس لتصنيع الأجهزة الإلكترونية الدقيقة والإلكترونية الضوئية عالية الأداء-. نوعية المناطق السطحية وتحت السطحية تؤثر بشكل حاسم على أداء الجهاز؛ يتطلب تحقيق نتائج فائقة الحفاظ على دقة عالية للسطح-وخشونة السطح تحت- نانومتر مع تجنب الضرر السطحي وتحت السطحي في نفس الوقت.
تتضمن معالجة الركيزة لأشباه الموصلات في المقام الأول التقطيع واللف والتلميع، في حين تركز معالجة رقائق أشباه الموصلات بشكل أساسي على الطحن (للترقق) والتقطيع.
يقدم الكتاب *المبادئ والتقنيات الرئيسية لمعالجة المواد الكاشطة للركائز- فائقة الصلابة لأشباه الموصلات* تقنية معالجة المواد الكاشطة الثابتة-. من خلال تثبيت الحبوب الكاشطة على ركيزة الأداة، تتيح هذه الطريقة التحكم الدقيق في واجهة المعالجة، وبالتالي تعزيز كفاءة المعالجة وتحسين جودة السطح.
من خلال التنظيم الدقيق للحبيبات الكاشطة على الطبقة السطحية للأداة-على وجه التحديد عن طريق التحكم في عمق القطع للتوافق مع النافذة الحرجة للانتقال الهش-إلى-المطاط في المواد شبه الموصلة-أسطح الركيزة عالية الجودة-يمكن تحقيق ذلك. يمثل تطوير أدوات المعالجة الكاشطة-الثابتة طفرة في المبادئ والأساليب والتقنيات لمعالجة-ركائز أشباه الموصلات فائقة الصلابة؛ علاوة على ذلك، فإنها تلعب دورًا محوريًا في إنشاء وتحسين الإطار النظري والممارسات الفنية لتحقيق-الكفاءة العالية والجودة العالية-في معالجة هذه الركائز. انقر على الصورة للشراء
مقدمة الكتاب
*المبادئ والتقنيات الرئيسية لمعالجة الكاشطة للركائز- فائقة الصلابة من أشباه الموصلات* تلخص بشكل منهجي الإنجازات البحثية للمؤلفين وفريقهم على مدار العقد الماضي فيما يتعلق بالمبادئ والتقنيات الرئيسية للمعالجة الكاشطة للركائز-الشديدة الصلابة من أشباه الموصلات. يوضح الكتاب الأنواع والخصائص والتطبيقات وآفاق التطوير لهذه المواد الأساسية ويقدم-شرحًا متعمقًا لتقنيات المعالجة-بما في ذلك سير عمل العمليات، والخصائص الميكانيكية، وآليات إزالة المواد، وتقنيات المعالجة الشائعة. ويركز على مبادئ معالجة المواد الكاشطة وتصنيع وتطبيق الأدوات الكاشطة، ويغطي تقنيات القطع والطحن والتلميع والتقطيع، بالإضافة إلى تقنيات القياس والتوصيف غير المدمرة. بالإضافة إلى ذلك، فإنه يقدم نظرة مستقبلية على اتجاهات التطوير المستقبلية لتقنيات المعالجة هذه. إن التقنيات الجديدة المعروضة في الكتاب مجدية للغاية وقد أظهرت نتائج عملية ممتازة.
*المبادئ والتقنيات الأساسية لمعالجة المواد الكاشطة للركائز-الصلبة للغاية من أشباه الموصلات* هي مبادئ هادفة وعملية ومفيدة للغاية. إنه بمثابة مرجع قيم للمهنيين الهندسيين والفنيين في مجالات مثل الهندسة الميكانيكية، والتصنيع الذكي، والدوائر المتكاملة، ويمكن استخدامه أيضًا ككتاب دراسي أو كتاب مرجعي لطلاب المرحلة الجامعية والدراسات العليا المتخصصين في الهندسة الميكانيكية، والتصنيع الذكي، وعلوم وتكنولوجيا الأجهزة، والدوائر المتكاملة.
